● 涂镀层检测<br />
● 成分分析<br />
● RoHS检测<br />
全新上照式设计，保留原有四焦技术同时，搭载全自动大行程移动平台和影像识别功能，既能检测纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚，也可满足微区ROHS检测及全元素成分分析，无论是一个还是一批样测试都能实现精准、快速、有效。
性能优势
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● 微聚焦X射线装置
搭载微聚焦加强型X射线发生器和“四焦一体”光路系统，最小测量面积可达0.03mm²
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● 一机多用、精检精测
各装置高度集成，不分散、不弱化光强，能够完全兼顾ROHS、全元素分析、各种大小异形涂镀层样品的快速精准检测
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● 变焦装置及位置补偿算法
可对各种异形凹槽件进行无损检测，可测凹槽深度范围：0-90mm
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● 数十秒完成纳米级的薄金镀层测量
最佳的设计，实现微小区域下的高灵敏度即使在微小准直器下，也能够大幅度地提高膜厚测量的精度
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● 自主研发的EFP算法
Li(3)-U(92)元素的涂镀层，多层多元素，甚至有同种元素在不同层也可精确测量
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典型行业应用
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氢能源行业
Pt/PE...
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晶圆
Au/硅片...
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新能源行业
NiP/Fe、铝膜...
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航天航空
Au/Ni/FeNi...
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技术参数
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型号
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XAD-200
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涂镀层分析
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可同时分析23个镀层，24种元素，不同层有相同元素也可分析，可检测Li（3）- U（92）涂镀层90种元素
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RoHS分析
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有害元素检测（RoHS、卤素）
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成分分析
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用于各种合金及贵金属等物质中Al（13）-U（92）的80种元素成分分析
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EFP算法
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标配
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软件操作
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人性化封闭软件，自动判断故障提示校正及操作步骤，避免误操作
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分析时间
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1-200秒
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信号及接收
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标配DPP+FAST SDD
（可选配Si-Pin半导体探测器或大面积DPP+FAST SDD）
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X射线装置
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微聚焦加强型射线管
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准直器
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标配：0.1*0.3mm;φ0.3mm;φ1.2mm;φ3mm（可选配：φ0.2mm;φ0.5mm;φ1.2mm;φ3mm）
（四准直器自动切换）
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微光聚焦技术
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最近测距光斑扩散度小于10%
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滤光片
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集成嵌入式多滤光片切换装置
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测量距离
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具有距离补偿功能，可改变测量距离测量凹凸异形样品，可测凹槽深度范围：0-90mm
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对焦方式
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激光对焦，精确定位
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仪器尺寸
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深760mm*宽535mm*高635mm
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Z轴移动范围
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145mm
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样品台移动
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全自动高精密XY平台
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可移动范围
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240mm*210mm
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仪器重量
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120KG
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其他附件
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电脑一套、打印机、附件箱、十二元素片、RoHS标准片、标准片、电镀液测量杯（选配）
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X射线标准
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DIN ISO 3497、ASTM B 568
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400-850-1617