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毛细聚焦X荧光光谱仪

此系列产品可测量金属准直无法测量的微区,多导毛细聚焦管光学元件的光束尺寸可小至5μm,因此可以测量微电子设备、高级电路板、连接器、引脚框架和晶片的超微小区域。 可以测量纳米级的镀层,毛细聚焦管能将更多的X射线输出聚焦到样品上,可以敏感的反应镀层纳米级厚度变化。其焦斑小区域上的X射线强度比金属准直系统高出几个数量级。 可以实现更高的测试精度,毛细管聚焦X射线从而特征X射线强度更高,探测器接受到高的计数率,信噪比更好,可以得到更好的测试精度和置信区间。 更好的测试稳定性,探测器计数率高,测试结果波动更小,样品镀层、含量的测量更为精准。

仪器简介:

此系列产品可测量金属准直无法测量的微区,多导毛细聚焦管光学元件的光束尺寸可小5μm,因此可以测量微电子设备、高级电路板、连接器、引脚框架和晶片的超微小区域。

可以测量纳米级的镀层,毛细聚焦管能将更多的X射线输出聚焦到样品上,可以敏感的反应镀层纳米级厚度变化。其焦斑小区域上的X射线强度比金属准直系统高出几个数量级。

可以实现更高的测试精度,毛细管聚焦X射线从而特征X射线强度更高,探测器接受到高的计数率,信噪比更好,可以得到更好的测试精度和置信区间。

更好的测试稳定性,探测器计数率高,测试结果波动更小,样品镀层含量的测量更为精准。内3.png

性能优势:

微区分析:精准定位平台和毛细管聚焦光学结构,聚焦直径可小至 5μm FWHM. 

测试速度强度高于金属准直1000倍以上的毛细管光路系统搭配一六自主研发的EFP核心算法,分析效率翻倍,将大幅度缩减分析时间。 

自动智能仪器响应式自动开合,AI影像智能寻点一次编程即可实现成百上千个样品点的高效检测,实现在线检测。 

兼容性可选超大样品舱及移动平台,可轻松装载大尺寸样品。所有核心部件封装于可拆卸独立测量头内,可实现即插即用的安装在厂线上。 

耐久性模块化设计,使用寿命长,通用性更强,后期维护方便,各部件轻松换代升级。


光路系统:

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多导毛细管技术:

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高能量的X-ray,配合高分辨率、大窗口SDD探测器,实现极小测量光斑。

高集成光路+多导毛细管:在高集成光路系统的基础上,搭配多导毛细管实现极小面积、极薄镀层的高速、精确、稳定的测量。





标签:   毛细聚焦光谱仪

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