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镀层膜厚的分类

2018-01-05 11:17:27 16elite 27

 薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的1104的原子层或分子层。在此方向上,薄膜具有微观结构。

      理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观的,其他的两维方向具有宏观大小。所以,表示薄膜的形状,一定要用宏观方法,即采用长、宽、厚的方法。因此,膜厚既是一个宏观概念,又是微观上的实体线度。

       由于实际上存在的表面是不平整和连续的,而且薄膜内部还可能存在着针孔、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等,所以,要严格地定义和精确测量薄膜的厚度实际上是比较困难的。膜厚的定义应根据测量的方法和目的来决定。   

经典模型认为物质的表面并不是一个抽象的几何概念,而是由刚性球的原子(分子)紧密排列而成,是实际存在的一个物理概念。

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形状膜厚:dT是最接近于直观形式的膜厚,通常以um为单位。dT只与表面原子(分子)有关,并且包含着薄膜内部结构的影响;

 质量膜厚:dM反映了薄膜中包含物质的多少,通常以μg/cm2为单位,它消除了薄膜内部结构的影响(如缺陷、针孔、变形等);

 物性膜厚:dP在实际使用上较有用,而且比较容易测量,它与薄膜内部结构和外部结构无直接关系,主要取决于薄膜的性质(如电阻率、透射率等)。

膜厚的测量方法:

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标签:   镀层膜厚 测厚仪 膜厚仪 膜厚检测

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